تنظيف الليزر هو تقنية تستخدم لإزالة الملوثات من رقائق أشباه الموصلات ، وتوفر طريقة اتصال دقيقة وغير- للحفاظ على نظافة هذه المكونات الحساسة. إنها ذات قيمة خاصة في تصنيع أشباه الموصلات بسبب الحاجة إلى الأسطح البكر في إنتاج الأجهزة الإلكترونية.
https://youtu.be/35wo9j5pxek؟si {{4)
كيف تعمل:
يستخدم تنظيف الليزر نبضات ليزر عالية - الكثافة لإزالة الملوثات مثل الغبار أو البقايا أو الجسيمات من خلال الاجتثاث بالليزر. يتم امتصاص طاقة الليزر من قبل الملوثات ، مما تسبب في تبخر أو يتم طرده من السطح ، في حين أن مادة الويفر الكامنة لا تتأثر إلى حد كبير.
مزايا تنظيف الليزر للرقائق أشباه الموصلات:
دقة:
يمكن أن تستهدف الليزر الملوثات ذات الدقة العالية ، مما يقلل من خطر الأضرار التي لحقت ببنية الويفر الحساسة.
جهة الاتصال غير -
على عكس طرق التنظيف التقليدية ، لا تلمس الليزر البرقص جسديًا ، مما يقلل من خطر الخدوش أو الكسر.
صديقة للبيئة:
غالبًا ما يقلل تنظيف الليزر أو يلغي الحاجة إلى مواد كيميائية قاسية المستخدمة في عمليات التنظيف التقليدية.
التنوع:
يمكن ضبط إعدادات الليزر المختلفة لمختلف المواد وأنواع التلوث.
تطبيقات محددة:
إزالة الجزيئات والأيونات المعدنية والشوائب الكيميائية من رقائق السيليكون.
تنظيف أسطح الرقاقة وأقنعة الطباعة الحجرية.
إزالة الملوثات التي تم تقديمها خلال علامات تحديد الليزر.
مثال: أظهرت دراسة أن تنظيف الليزر يمكن أن يزيل الجزيئات ذات الأحجام المختلفة (بما في ذلك 1 ميكرون من جزيئات التنغستن) من رقائق السيليكون ذات الكفاءة العالية. وأظهرت دراسة أخرى إزالة جزيئات الألومينا الصغيرة باستخدام تنظيف الصدمة بالليزر.
