نظام التنظيف بالليزر لتنظيف أداة PVD ، يمكن إزالة الطلاء متعدد الطبقات بشكل فعال ، أي تلف ميكانيكي ، أي ضرر على سطح اللحام أو الختم ، تقليل وقت دورة التسخين ، عدم وجود الكواشف البيئية والكيميائية ، عدم وجود ملوثات ثانوية لا حاجة لتنظيف ، رد فعل عام تنظيف الغرفة يمكن أن تكتمل في غضون ساعات قليلة.
يمكن لتقنية التنظيف بالليزر إزالة أصعب أنواع رواسب بخار التنظيف ، بما في ذلك طلاء الكربون الشبيه بالماس وغيرها من الطلاءات المقاومة للتآكل. قوة الليزر المجمعة تبخر هذه "الطلاء المضادة للرصاص". في نهاية المطاف ، يمكن تنظيف ركائز المعادن الدقيقة بأمان وبدون تلف ، ولا يتم إنتاج أي بقايا. يمكن أن تكون غرفة البلازما يدوياً أو شبه أوتوماتيكية خاضعة لطلاء الليزر الفعال أثناء التنظيف.
يشير ترسيب البخار الفيزيائي PVD إلى عملية نقل مادة أو جزيء من مصدر إلى سطح الركيزة بواسطة عملية فيزيائية. وتتمثل مهمتها في جعل بعض الجسيمات ذات الخصائص الخاصة (قوة عالية ، مقاومة التآكل ، تبديد الحرارة ، مقاومة التآكل ، إلخ) يرش على الجسم الأم منخفض الأداء ، بحيث يكون للجسم الأم أداء أفضل. ومع ذلك ، في هذه العملية ، لا تلتصق طبقة طبقة الرش فقط بالسطح المستهدف ، بل تتكامل أيضًا مع أسطح الأدوات والتركيبات المستخدمة في تثبيت الأجزاء داخل غرفة التفاعل. يمكن لنظام التنظيف بالليزر تنظيف سطح أداة PVD بفاعلية ، وتجنب الآثار الضارة لمواد طلاء PVD المفرطة ، مثل تقليل التسامح من قطعة الشغل ، وضعف حشو غرفة التفاعل ، مما يؤدي إلى زيادة الرطوبة ووقت التسخين لفترات طويلة.
