كما نعلم جميعًا ، لا يوجد سوى مصنع واحد في العالم يمكنه إنتاج الطباعة الحجرية EUV ، وهوASML الهولندي.
السبب في وجود مصنع واحد فقط في العالم هو أن ASML ربطت العديد من الشركات المصنعة الرئيسية معًا ، مثل Zeiss (Zeiss) ، وهي شركة بصريات ألمانية ، Cymer (الولايات المتحدة الأمريكية) ، وترامبف (ألمانيا).
ربطت ASML هؤلاء المصنّعين بمركبتها من خلال الاستثمار والاستحواذ والمساهمة وإنشاء مراكز بحث وما إلى ذلك ، ومن المحتمل أن يكون هؤلاء المصنّعون هم المصنّعون الوحيدون في العالم الذين يمكنهم إنتاج هذه المنتجات ، لذلك في النهاية يمكن فقط لـ ASML في العالم إنتاج الطباعة الحجرية EUV.
ومع ذلك ، في الآونة الأخيرة ، ركضت سلسلة التوريد الرئيسية لـ ASML ، إلى Shenzhen ، الصين لبناء مصنع ، استقرت الشركة الفرعية التابعة لها في Shenzhen في Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Park.
هذه الشركة المصنعة هي مجموعة TRUMPF الألمانية (TRUMPF) ، وهي شركة ASML للطباعة الحجرية EUV ، وهي المورد الوحيد لمصدر الليزر في العالم.
منتجات TRUMPF في الطباعة الحجرية EUV ، ما مدى أهمية؟ أولاً ، استمع لي وشرح مبدأ الطباعة الحجرية EUV ، ستفهم.
يتركز مبدأ الطباعة الحجرية EUV ، ببساطة ، على ثلاثة أنظمة رئيسية ، نظام مصدر الضوء فوق البنفسجي EUV ، ونظام المرآة الموضوعية ، ونظام الطاولة.
تتمثل العملية المحددة في استخدام الليزر لإثارة طول موجة يبلغ 13.5 نانومتر من الأشعة فوق البنفسجية الشديدة ، والتي يتم تصحيحها بعد ذلك لتشكيل شعاع ضوئي متحكم فيه ، والذي يتم عرضه بعد ذلك على طاولة قناع ضوئي قبل أن يتم عرضه من خلال مرآة موضوعية على طاولة التعريض. وأخيراً محفوراً في دائرة على رقاقة سيليكون مطلية بمقاوم للضوء.
كيف يتم الحصول على أحد أنظمة مصدر ضوء الأشعة فوق البنفسجية EUV عن طريق قصف قطيرة معدنية من الصفيح (Sn) باستخدام ليزر ثاني أكسيد الكربون بقوة 30 كيلو وات ، وتبخيره إلى بلازما ، والحصول أخيرًا على ضوء EUV بطول موجة 13.5 نانومتر.
يتم توفير ليزر ثاني أكسيد الكربون بقدرة 30 كيلو وات بواسطة ترومبف ، وهو الوحيد في العالم.
لا تقلل من شأن ليزر ثاني أكسيد الكربون هذا ، فهو يحتوي على 457329 جزءًا ، ويصل طول الكابل في النظام إلى 7322 مترًا ، ويبلغ وزنه 17.090 كجم ، وهو أحد أهم المكونات الأساسية في الطباعة الحجرية EUV.
الآن ركض TRUMPF إلى الصين لبناء مصنع ، والنية واضحة ، أي متفائل بشأن سوق الليزر الصيني ، وحتى وجهة نظر طويلة المدى ، متفائل بشأن سوق الطباعة الحجرية الصينية ، قد يتعاون المستقبل مع الصين لبناء الطباعة الحجرية EUV .
في الواقع ، هناك بالفعل أكثر من سلسلة توريد ASML تعمل في الصين لبناء مصنع ، وهناك KMWE ومصنعون آخرون ، وكذلك للصين لبناء مصنع.
وفقًا للاتجاه الحالي ، يمكننا أن نتوقع بتفاؤل أنه قد لا يمر وقت طويل قبل أن تكون تقنية الطباعة الحجرية الصينية خطوة كبيرة إلى الأمام ، وحتى حجم إخراج الطباعة الحجرية EUV ، يمكن أيضًا أن نتطلع إلى ذلك ، هل تعتقد؟
