في الآونة الأخيرة ، قام معهد شنغهاي لنظام Microsystem وتكنولوجيا المعلومات في الأكاديمية الصينية للعلوم بتطوير مرآة عكسية عالية الأداء مع أجهزة استشعار زاوية متكاملة {{2}
استغرقت المرآة سريعة الانعكاس ما يقرب من خمس سنوات لتطوير . أنها تعتمد التكامل غير المتجانس مزدوج الطبقة وتكنولوجيا الترابط على مستوى الويفر ، وحجمها هو فقط حجم 1- yuan coin .
إنه يتغلب على الاختناقات التقنية للمرايا التقليدية للريك الميكانيكية السريعة والمرايا الأصلية للمعدة السريعة ، مما يخلق منتجًا من الدرجة الفضائية مع دقة تشير إلى μRAD ، وتلبية مؤشرات الأداء عالية الفائقة لتطبيقات القمر الصناعي {{}}}}}
مستوحى من شاشة الهاتف المحمول ، استخدم الفريق مبدأ سلالة السيليكون piezoresive لدمج أجهزة استشعار الزاوية على الرقاقة ، ومن خلال الابتكار الهيكلي ، زادت الحساسية بنسبة 63 ٪ ، مما أدى إلى تحسين دقة التحكم في الحزمة .
تُظهر نتائج الاختبار أنه في تردد محدد ، تلبي دقة الزاوية المعيار ، وأن الحد الأقصى للتشوه السطحي الديناميكي هو فقط نانومتران .
قام المسؤول بإجراء تشبيه ، وهو ما يعادل جميع الصعود والهبوط على مرآة بحجم حقل كرة قدم لا يتجاوز قطر الشعر ، وتلبية المتطلبات الصارمة للاتصالات بالليزر الأقمار الصناعية على سطح المرآة .
