تعتمد عملية التنظيف بالليزر Nd: YAG النبضي على خصائص النبضات الضوئية التي ينتجها الليزر ، استنادًا إلى حزم ذات كثافة عالية ، نبضات قصيرة.
ردود الفعل الضوئية الناتجة عن التفاعلات بين الليزر والطبقات الملوثة. يمكن تلخيص مبادئه الفيزيائية على النحو التالي:
1) يتم امتصاص الحزمة المنبعثة من الليزر بواسطة الطبقة الملوثة على السطح المراد معالجته.
2) امتصاص الطاقة الكبيرة يشكل بلازما سريعة الاتساع (غاز غير مستقر عالي التأثر) ينتج موجة صدمية.
3) تسبب موجة الصدمة أن تصبح الملوثات شظايا ويتم رفضها.
4) يجب أن يكون عرض النبضة الخفيفة قصيرًا بما يكفي لتجنب تراكم الحرارة الذي قد يؤدي إلى تلف السطح المعالج.
5) أظهرت التجارب أنه عندما يكون هناك أكسيد على سطح المعدن ، يتم إنشاء البلازما على سطح المعدن.
يتم إنشاء البلازما فقط عندما تكون كثافة الطاقة أعلى من عتبة ، والتي تعتمد على طبقة الملوثة أو الأكسدة التي يتم إزالتها. هذا العتبة
تأثير مهم للتنظيف الفعال مع ضمان سلامة المواد الركيزة. هناك أيضا عتبة ثانية لوجود البلازما. اذا كان ممكنا
عندما تتجاوز كثافة كمية هذه العتبة ، سيتم تدمير المواد الركيزة. من أجل ضمان التنظيف الفعال للمواد الركيزة ، يجب أن يعتمد على
يتم ضبط معلمات الليزر بحيث تكون كثافة الطاقة لنبض الضوء بشكل صارم بين عتبتين.
كل نبضة ليزر تزيل سماكة معينة من الطبقة الملوثة. إذا كانت الطبقة الملوثة سميكة ، يلزم وجود نبضات متعددة للتنظيف. تجفيف السطح
كمية النبض المطلوبة للمعاوضة تعتمد على درجة التلوث السطحي. إحدى النتائج الهامة التي تنتج عن العتبتين هي التحكم الذاتي في التنظيف. كثافة الطاقة العالية
نبضات الضوء في العتبة الأولى سوف ترفض دائما الملوثات حتى يتم الوصول إلى المواد الركيزة. ومع ذلك ، لأن كثافة الطاقة أقل من ذلك من المواد الركيزة
يتم تدمير العتبة بحيث لا تتلف الركيزة.
