1. التنظيف بالليزر لمكونات الدوائر المتكاملة عادة ما تكون حزمة IC معبأة في حزمة IC.
مع زيادة التكامل IC ، تتوفر المزيد والمزيد من الدبابيس ، وتصبح الثقوب أصغر. الطريقة التقليدية من الصعب إزالة فلاش وضع ثقب صغير. لاستخراج الليزر excimer يمكن القضاء تماما على فلاش وضع حفرة صغيرة. يتميز استخدام التلألؤ بالليزر بمزايا لا مثيل لها على الطرق الأخرى. من الواضح أن ماسورة الليزر سوف تكون أنسب تكنولوجيا IC. يستخدم التلألؤ بالليزر بشكل عام ليزر Excemer KrF. الطول الموجي هو 248 نانومتر وعرض النبضة 20 نانوثانية. وبالتركيز على العدسة المحدبة بلوتو مع قطر 50 نانومتر وبُعد بؤري 50 ملم ، فإن شعاع الليزر يحدث بشكل عمودي في الهواء.
2. إزالة اللصاق بالليزر في الدوائر المتكاملة في إنتاج الدوائر المتكاملة ، غالباً ما تحدث جودة علامات الحزم بشكل سيئ أو تحدث أخطاء. يقوم المستخدمون الآخرون بتغيير التصميم مؤقتًا وتحتاج إلى مسح العلامات الموجودة قبل إعادة وضع العلامات.
تتميز طرق التنظيف التقليدية بالسرعة المنخفضة وسوء التشغيل التلقائي والسطح الخشن بعد المعالجة مما يحد من استخدامها في الدوائر المتكاملة. ليزر اكسيمر ذو كفاءة عالية في رفض العلامة ونوعية العلامة جيدة. يجب أن يتخلص جهاز إزالة خراطيش الليزر من عمق التجريف بشكل صحيح. يؤثر عمق عميق على رقاقة IC ويقلل من القدرة على مقاومة هجوم الرطوبة. ضحلة جدا ، لا يمكن إزالة العلامة تماما. توفير الوقت مع كثافة طاقة أعلى ومعدل تكرار أعلى. عندما يتراجع الليزر ، يتم إزالة الغبار والشحوم والأكاسيد على السطح لإظهار قالب نقي. بعد إعادة التوسيم ، تكون المتانة أفضل.
3. تنظيف التلسكوبات الفلكية الكبيرة
بسبب استخدام المقاريب الكبيرة في الهواء الطلق ، فإن سطح المرآة غالباً ما يكون ملوثًا بالجسيمات ، مما يؤدي إلى انعكاس الانعكاس المرآوي ، مما يؤدي إلى تفاقم دعم الصورة ، وهو ما يمثل مشكلة كبيرة في الرصدات الفلكية. من الصعب تنظيف المرايا الكبيرة باستخدام الطرق التقليدية. تم الحصول على نتائج جيدة مع التنظيف بالليزر. عتبة كثافة الطاقة التي لا تتمكن حزمة الليزر من إنتاج ضرر بها يزداد مع ازدياد طول الموجة. بدءا من تجنب الأضرار التي لحقت المرآة ، فمن أكثر أمانا لاختيار أطول تنظيف الطول الموجي. في نفس الوقت من التنظيف بالليزر ، يجب أن يتم نفخ الغاز المساعد أو الضخ من أجل تفريغ أو إزالة الجزيئات المتساقطة من منطقة الإشعاع في الوقت المناسب لمنع التلوث الثانوي.
4. تنظيف الرأس المغناطيسي المنزلق تحمل
في تصنيع محركات أقراص الكمبيوتر ، من أجل زيادة كثافة التخزين ، يتم تخفيض ارتفاع الطيران للرأس المغناطيسي بشكل مستمر بحوالي 0.1 ميكرومتر ، وقد تتسبب جزيئات submicron في تلف المقعد المنزلق وسطح القرص ، مما يؤدي إلى خلل في نظام القيادة. . لذلك ، فإن تنظيف محمل الهواء في الشريحة هو عملية لا غنى عنها في عملية التصنيع ، وتأثير التنظيف التقليدي فوق الصوتي سيئ للغاية. أثبت بحث جديد أن تنظيف الليزر هو طريقة فعالة للغاية لتنظيف تأثير الهواء المنزلق رئيس المغناطيسي. تم تصنيع محمل الهواء المغناطيسي المنزلق من أكسيد الألومنيوم وكربيد التيتانيوم. أثناء عملية التصنيع ، يكون سطح المحمل المغنطيسي ملتصقًا عادة بجسيمات الزركونيوم ، ويتم تحريك الجسيمات الفضفاضة أولاً بواسطة تدفق هواء قوي ، ومن ثم يتم تنظيف الليزر. تم فحص عدد الجسيمات الملتصقة بالسطح بواسطة الفحص المجهري قبل وبعد التنظيف.
5. تنظيف الليزر من العمل الفني
تنظيف الليزر من الكنوز الفنية القديمة هي تقنية معقدة إلى حد ما. في الوقت الحاضر ، تستخدم تكنولوجيا التنظيف بالليزر بشكل أساسي لتنظيف الآثار الثقافية والمباني الكبيرة ، ويمكن أن يؤدي التنظيف الكيميائي إلى إتلاف سطحها وتعريض البيئة للخطر.
في السنوات الأخيرة ، نجح استخدام تكنولوجيا التنظيف بالليزر في تطهير العمارة القديمة المشهورة عالمياً لكاتدرائية كولونيا. بعد التنظيف بالليزر لمجموعة نحت الحجر ، تم الحصول على نفس التأثير. لوحظ سطح الحجر بعد تنظيف الليزر باستخدام مجهر إلكتروني. وقد وجد أن هيكل الحجر بعد تنظيف الليزر لم يتغير ، وكان السطح المراد تنظيفه سلسًا ومستويًا دون ضرر. استخدام ليزر excimer لتنظيف العملات النحاسية القديمة الصينية والبوصلات المعدنية. يمكن تنظيف حجم الجسيمات من الملوثات السطحية من صغيرة مثل مجموعة جزيئية إلى 80 ميكرومتر ، ويبقى البنية الدقيقة ولون سطح الجسم سليماً دون تلف.
