الليزر هو أحد الاختراعات الرئيسية في العلوم الطبيعية في القرن العشرين. في عام 1960 ، أنتجت أول ليزر في العالم. بعد ذلك ، تم استخدام أشعة الليزر ذات التماسك الجيد ، وزوايا العدو الصغيرة ، وتركيز الطاقة العالية على نطاق واسع في مختلف المجالات ، مثل الليزر ، ومعالجة الليزر ، والاتصال بالليزر. في أوائل الثمانينات من القرن العشرين ، بدأ الناس في استخدام أشعة الليزر عالية الطاقة لإضاءة سطح قطعة العمل ، مما تسبب في تآكل سطح الأوساخ أو الصدأ أو الطلاء على الفور أو تقشيره ، وإزالة المرفق أو الطلاء على سطح الكائن بسرعة عالية. عملية تنظيف سطح المادة هي تنظيف الليزر. منذ السنوات العشر الماضية ، انتقل التنظيف بالليزر من المختبر إلى التطبيقات العملية ، المستخدمة في قوالب منتجات المطاط المختلفة ، قوالب منتجات السيليكون لإزالة النفط والصدأ والآثار الثقافية ولوحات الدوائر الإلكترونية الدقيقة وغيرها من مواد التنظيف ، وحققت اقتصادية جيدة جدا و المنافع الاجتماعية.
في منتصف الثمانينات ، من أجل تلبية احتياجات الإنتاج الصناعي لإزالة الجزيئات الدقيقة في قوالب الذاكرة ، تلقى تنظيف الليزر اهتماما واسع النطاق وبحوثا واعترف رسميا كوسيلة تنظيف فعالة حاول الباحثون استخدامها. طرق التنظيف التقليدية مثل التنظيف الميكانيكي ، والتنظيف الكيميائي ، والتنظيف بالموجات فوق الصوتية لإزالة جزيئات submicron المتصلة بالقالب هي أقل من مثالية. بما أن قوة الإمتزاز للجسيمات الموجودة على القالب (قوة فان دير فالس ، قوة إلكتروستاتية ، إلخ.) مدهشة للغاية ، مثل جسيمات بحجم 1 ميكرومتر ، فإن قوة إدمصاصها على سطح القالب تبلغ حوالي 106 أضعاف حجمها. الجاذبية ، ولا يمكن إتمام طريقة التنظيف الميكانيكي. إزالة الجسيمات الدقيقة ، التنظيف الكيميائي يمكن أن يؤدي إلى تآكل وإعادة تلوين القالب. يتطلب التنظيف بالموجات فوق الصوتية وضع القالب في مركز الاهتزاز الصوتي ، مما يؤدي إلى تمزق القالب. يتم إنتاج تنظيف الليزر في مثل هذه الظروف. في هذه الحالة ، بدأ الناس في دراسته بشكل منهجي: مظهره حل مشكلة التلوث على سطح القالب ، ومع تطور تكنولوجيا تنظيف الليزر ، كما تم استخدامه على نطاق واسع في العديد من المجالات الأخرى.
في أواخر الثمانينات ، وجد العلماء أن تغطية سطح الركيزة بطبقة مساعدة سائلة كان أكثر ملاءمة لإزالة جسيمات التلوث. من بينها ، الماء هو طبقة مساعدة فعالة. طريقة تغطية سطح المادة المراد تنظيفها بواسطة غشاء سائل بسمك لترتيب الملليمترات ومن ثم تشعيع بالليزر لإزالة الجسيمات الملوثة هو ما نسميه فيما بعد التنظيف بالليزر (المبلل) بالليزر ، مقارنة مع النوع الجاف. تنظيف الليزر ، التنظيف بالليزر بالبخار لديه كفاءة تنظيف أعلى. لم يكن حتى أوائل التسعينيات من القرن الماضي أن تنظيف الليزر دخل في الإنتاج الصناعي. في الواقع ، تقريبا في عام 1987 ، ثلاث مجموعات بحثية اكتشفت بشكل مستقل آثار تنظيف الليزر. من بينها ، حصل فريق البحث بقيادة Zapka على أول براءة اختراع للتنظيف بالليزر واعترف بتطبيقاته في الصناعة. مجموعة بحثية أخرى هي معهد ماكس بلانك للكيمياء الحيوية والفيزياء في توكو ، العلماء كان قالب السيليكون مغطى بجسيمات ذهبية يبلغ حجمها 35 نانومتر ، ومن ثم تم إشعاع ليزر النتروجين الجزيئي مباشرة على السطح الصلب ، ونتيجة لذلك ، تمت إزالة جزيئات الذهب على السطح بنجاح ، في حين لم يتضرر قالب السيليكون ، مما يشير إلى أن الليزر كان يستخدم لتنظيف السطح الصلب. الجسيمات الملوثة مجدية.
في عام 2001 ، أجرت شركة Fourrier والمتعاونون معها تجارب التنظيف بالليزر البخاري على جسيمات ذات أشكال وأحجام ومواد مختلفة للعثور على كثافة الليزر المطلوبة للجسيمات المختلفة في نطاق يتراوح بين عشرات ومئات النانومترات. العتبة هي نفسها. توفر هذه "العتبة المتسقة على نطاق واسع" دعما أكثر ملاءمة للاستخدام الصناعي للتنظيف بالليزر بالبخار لإزالة جسيمات دون ميكرون. على الرغم من أن تطوير التنظيف بالليزر يعتمد على تنظيف الجزيئات الصلبة الصغيرة على السطح ، فقد أجريت الأبحاث على تطبيقات أخرى وفقًا لذلك. على سبيل المثال ، في السبعينات ، بعد البحث والتجريب ، تبين أن الليزر يقوم بتنظيف المباني التاريخية والأعمال الفنية. هناك جدوى. في عام 1992 ، استخدمت اليونسكو بنجاح تنظيف الليزر لإصلاح كاتدرائية ياسمين في إنجلترا. بعض البلدان في أوروبا قامت أيضاً بتنظيف ليزر كاثدرائية Amiens (فرنسا) ، كاتدرائية St. Stephan (فيينا ، النمسا) ، قبر الجندي المجهول (وارسو ، بولندا). وقد اجتذب تطبيق الليزر في تجريد أيضا انتباه الباحثين. وودروف وآخرون. في الولايات المتحدة قاموا بالكثير من العمل في هذا المجال.
في التسعينات ، طور باحثون في ألمانيا واليابان ليزرً عالي الطاقة TEA-CO2 لاستخدامه في تجريد الطلاء بالليزر ، واستخدموه للقيام بسلسلة من التجارب. لم يكن حتى عام 2005 باحثين ينشرون أبحاثًا حول تجريد الطائرات باستخدام ليزر TEA-CO2 العالي القدرة. كما قام علماء من مختلف البلدان بإجراء الكثير من الأبحاث الاستكشافية حول استخدام قوالب الإطارات ومعالجة الأسطح والقمامة الفضائية والجوانب الأخرى ، وحققت نتائج ملحوظة.
