وفقا لخصائص المواد الركيزة، ودقة سطح الركيزة، وخشونة السطح وأنواع ملوثات الجسيمات، يمكن تقسيم أساليب التنظيف بالليزر الحالية إلى الفئتين التاليتين.
1) الليزر طريقة التنظيف الجاف. الليزر مباشرة تشع سطح الجسم، يلوث الجسيمات أو يمتص الطاقة على السطح، ثم يجعل الجسيمات تترك السطح عن طريق الانتشار الحراري، والتحلل الصورة والتغويز.
2) الليزر الرطب طريقة التنظيف. رش بعض السائل غير الملوث (الماء بشكل رئيسي ، والكحول في بعض الأحيان) على سطح المادة التي سيتم تنظيفها ، ثم تشعها بالليزر. بعد امتصاص الطاقة بالليزر، فإن المتوسطة السائلة تنتج تبخير المتفجرات، ودفع جزيئات التلوث من حوله بعيدا عن سطح المادة. وبالإضافة إلى ذلك، اقترح ما يسمى طريقة تنظيف مجمع الليزر. يتم امتصاص طاقة الليزر بواسطة المواد الركيزة ، ثم يتم تسخين الوسيطة المتوسطة الممتزة عن طريق الحمل الحراري الحراري ، وتنتج الوسيطة المتوسطة تبخيرًا متفجرًا. مدفوعا تدفق الهواء العالي، يتم فصل الجسيمات من سطح الركيزة جنبا إلى جنب مع المتوسطة المتوسطة.
